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產(chǎn)品特色

．可設置2組Sputter及2側(cè)陰極電弧模組。

．整合PVD及PECVD系統(tǒng)技術，可以制備附著性極佳之Me/DLC復合鍍層技術。

．可彈性應用于刀工具硬質(zhì)膜層之制作及耐磨耗零件之Me/DLC披覆。

．可制備：TiN、AlTiN、AlCrN、ZrN、WCC、Me/DLC等。

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